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产品简介
沃特塞恩旗下的和瑞微波事业部专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及MPCVD设备生产、具有多项自主知识产权……,我司生产的这款型号为HMPS-2150S微波等离子体CVD设备具有以下优势特点:
. 微波反应腔新型设计,功率密度大。
. 产品沉积速率快、沉积质量高、沉积面积超过3inch。
. 开关型微波功率源,微波功率输出稳定性高。
. 性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
. 多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护与报警。
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